한양대, 반도체 제조공정 시설 구축

한양스마트반도체나노팹 클린룸 준공식 개최

한양대(총장 김우승)가 27일, ‘한양스마트반도체나노팹 클린룸’ 준공식을 개최했다. 한양대는 이번 제조공정 시설 구축을 통해 반도체 분야의 선도 기관으로 도약하겠다는 계획이다.

클린룸은 미세한 먼지를 비롯한 기온, 습도, 기류 기압 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소들이 일정 규격에 맞게 관리되는 공간이다. 이번에 신설된 클린룸은 618.15m2 면적에 청정도1000(포토존 100)의 환경으로 구축됐으며, 노광장비/증착장비/식각장비/열처리장비 등 핵심 반도체 공정 장비가 설치될 예정이다.

구자겸 NVH코리아(주) 겸 ㈜원방테크 회장은 한양대 기계공학부 동문으로서 모교의 클린룸 구축을 위해 공조시설과 전등, 전열 및 자동제어 시스템 등 약 17억 원 상당의 현물을 기부하였다.

한양대는 지난해 7월에 한양스마트반도체연구원(HY-ISS, 원장 안진호)을 신설하여 반도체 산업 경쟁력 확보에 나섰으며 이번 클린룸 준공을 통하여 인적·물적 인프라를 겸비한 반도체 연구의 핵심 기관으로 거듭나게 되었다.

27일 오후 서울 성동구 서울캠퍼스에서 진행된 준공식에는 김종량 한양학원 이사장, 김우승 총장, 안진호 원장을 비롯해 ㈜원방테크 구자겸 회장, 정우현 부회장 등 주요 관계자들이 참석하였다.

안진호 원장은 “신설된 클린룸에서 더욱 안정적으로 반도체 관련 소자 및 신소재 연구가 진행될 것”이라며 “지속적인 교육과 연구를 통해 국가 및 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”라고 말했다.

 @송창환 기자